大連培訓中心開展2021年第十期培訓(第三代半導體工程設計)

來源: 本站 發布時間: 2021-07-15 點擊次數: 3000

7月15日,大連培訓中心成功舉辦2021年第十期第三代半導體工程設計培訓。本次培訓由天津分院副董事長王小紅同志擔任技術主持人及講課老師,參加培訓討論的還有天津分院三代半導體發展中心副主任王媛、三代半導體發展中心助理張強及林潔。總院及其他各分院、各項目組以視頻形式參加培訓,參訓人員共計260余人。

14:00點培訓準時開始。王小紅老師首先回顧了天津分院對于第三代半導體行業發展的思考,接著進入課程培訓。《第三代半導體工程設計》培訓課程由四個章節組成:第三代半導體簡述、第三代半導體材料項目設計案例(工藝專業)分享、第三代半導體芯片項目設計案例(工藝專業)、第三代半導體廠房設計項目案例分享。在“半導體簡述”章節,王小紅老師給大家簡要介紹了半導體制造的發展趨勢、集成電路各產業鏈核心工藝流程、第三代半導體的特點及應用;在“材料項目設計”章節,以碳化硅襯底材料為例,講解了碳化硅襯底項目設計工藝專業所涉及的工藝流程、總平面分區圖、交通流線分析、建筑物間距要求分析、人流/物流/貨流流程圖、地塊區劃圖等;在“芯片項目設計”章節,著重講解了光刻工藝、蝕刻工藝、離子注入、化學氣相沉積、物理氣相沉積、減薄工藝等各個工藝流程,并以實際項目為例,介紹了幾套方案的對比分析和經驗總結;在“廠房設計”章節,講解了工藝專業、結構專業、給排水專業、暖通專業、氣動專業、電氣專業在第三代半導體廠房設計中的常用設計方案、設計要點、應重點關注的問題等。

講課結束后,參訓人員積極參與討論和提問,王小紅老師一一為大家解答。大家紛紛表示,王小紅老師的培訓課程系統、詳實,且具有實用性、針對性,對于快速掌握第三代半導體工程設計的要點具有很大的幫助。大家對王小紅老師的無私分享報以長時間熱烈的掌聲!

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